PlasmaPro System133のR&D能力

  • 4、8、12ラインガスポッドのオプションは、プロセスおよびプロセスガスの柔軟性を提供し、メインプロセスツールから離れた、サービスエリアでリモートで選定することができます。
  • フルウエハートラッキングと、必要に応じた個々のウエハープロセス制御によるカセット・トゥ・カセットハンドリング
  • ウエハー裏面冷却を用いた電子チャックおよび/または機械的クランプオプション
  • MESC互換性がある六角形または正方形のロボットハンドラ
物理学会の為、説明員が2人九州大学に行ったのですが、大盛況過ぎて弊社の事業部長の所に列はできてしまうし、もう一人は、お客様を裁く事でいっぱいとなり、写真が撮っている暇が無かったと連絡がありました。 嬉しい悲鳴です。今日は最終日、もしお時間がございましたら、覗いてみてください
11:06 午後 - 16 3 19
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