FlexALシステムの利点:

  • 小さなウエハー片から最大200mmウエハーまでの処理能力
  • 低粒子計数とロード・トゥ・プロセススタート短時間用のロードロックウエハーエントリー
  • プリカーサ切替用の統合グローブボックス付き
  • In-situエリプソメトリー測定ツールの追加オプション
  • オックスフォード・インストゥルメンツのPlasmapro100の範囲を含む、他のプロセスツールを使用して、クラスタシステムに統合が可能
  • ASMインターナショナルNVから技術ライセンスを取得

主な特長

  • リモートプラズマ&フレキシブルツールによるサーマルALD
  • プロセス柔軟性のために自動化された200mmロードロック
  • 基板の真空トランスファー用のクラスタ対応
  • カセットハンドリングによる生産に適したスループット増大
  • 搬送ロボットと25枚ウエハーカセット付き六角ハンドラーオプション(対応サイズ:100mm、150mm、200mmウエハー)
  • すべての構成は、クリーンルーム内またはスルー・ザ・ウォールに配置することができます
物理学会の為、説明員が2人九州大学に行ったのですが、大盛況過ぎて弊社の事業部長の所に列はできてしまうし、もう一人は、お客様を裁く事でいっぱいとなり、写真が撮っている暇が無かったと連絡がありました。 嬉しい悲鳴です。今日は最終日、もしお時間がございましたら、覗いてみてください
11:06 午後 - 16 3 19
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