Hot embossing is an easy method for the reproduction of microstructures. Under vacuum, a moulding tool is pressed into a heated thermoplastic polymer (PMMA for instance).  For subsequent electroforming of metallic structures, the residual polymer layer that inevitably remains between substrate and molding tool has to be removed. The PlasmaProRIE is a highly suitable tool for such residual removal. An oxygen plasma is used.

Height of PMMA structure: お問い合わせ下さい
Thickness of removed residual layer: お問い合わせ下さい
Narrowest trenches: お問い合わせ下さい
Thinnest PMMA walls: お問い合わせ下さい
Vertical etch rate: お問い合わせ下さい
Horizontal etch rate: お問い合わせ下さい


物理学会の為、説明員が2人九州大学に行ったのですが、大盛況過ぎて弊社の事業部長の所に列はできてしまうし、もう一人は、お客様を裁く事でいっぱいとなり、写真が撮っている暇が無かったと連絡がありました。 嬉しい悲鳴です。今日は最終日、もしお時間がございましたら、覗いてみてください
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