Polydimethylsiloxane (PDMS) Etching

PDMS may be dry etched using the Inductively Coupled Plasma (ICP) process technique.

SEM image shows PDMS etch Depth 90µm & profile 92° 
 

  PlasmaPro NGP80 ICP65 PlasmaPro100 ICP180 PlasmaPro100 ICP380
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Uniformity: お問い合わせ下さい お問い合わせ下さい お問い合わせ下さい
Selectivity to Cu: お問い合わせ下さい お問い合わせ下さい お問い合わせ下さい
Wafer size: お問い合わせ下さい お問い合わせ下さい お問い合わせ下さい
 

 

物理学会の為、説明員が2人九州大学に行ったのですが、大盛況過ぎて弊社の事業部長の所に列はできてしまうし、もう一人は、お客様を裁く事でいっぱいとなり、写真が撮っている暇が無かったと連絡がありました。 嬉しい悲鳴です。今日は最終日、もしお時間がございましたら、覗いてみてください
11:06 午後 - 16 3 19
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