Aluminium Gallium Nitride/Gallium Nitride (AlGaN/GaN) Reactive Ion Etching (RIE)

AlGaN/GaN may be etched using the Reactive Ion Etching (RIE) process.

SEM image shows GaN mesa with hard mask still in place        

  PlasmaPro System100 RIE PlasmaPro System133 RIE
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物理学会の為、説明員が2人九州大学に行ったのですが、大盛況過ぎて弊社の事業部長の所に列はできてしまうし、もう一人は、お客様を裁く事でいっぱいとなり、写真が撮っている暇が無かったと連絡がありました。 嬉しい悲鳴です。今日は最終日、もしお時間がございましたら、覗いてみてください
11:06 午後 - 16 3 19
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