Aluminium (Al) Sputtering with excellent step coverage using the PlasmaPro System400

Al has applications in metal interconnects and hardmask. It may be deposited using Physical Vapour Deposition  (PVD), also known as Sputter Deposition. Some process benefits include; wide temperature range, smooth surface and excellent step coverage.

SEM image shows Al deposited on 1:1 and 2:1 aspect ratio Si lines. Continuous metal film on the walls.

 

Process Specification

  PlasmaPro 100 PlasmaPro System400
Deposition rate: お問い合わせください お問い合わせください
Uniformity: お問い合わせください お問い合わせください
Single wafer size: お問い合わせください お問い合わせください
Batch size: - お問い合わせください

 

物理学会の為、説明員が2人九州大学に行ったのですが、大盛況過ぎて弊社の事業部長の所に列はできてしまうし、もう一人は、お客様を裁く事でいっぱいとなり、写真が撮っている暇が無かったと連絡がありました。 嬉しい悲鳴です。今日は最終日、もしお時間がございましたら、覗いてみてください
11:06 午後 - 16 3 19
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