PlasmaPro ICPエッチング製品群の特長

機能 ICP65 (NGP80or 
PlasmaPro 100)
PlasmaPro100 ICP180 PlasmaPro100 ICP380 PlasmaPro100 Cobra PlasmaPro
Estrelas100
PlasmaPro133 ICP380
ソースサイズ: お問い合わせください お問い合わせください お問い合わせください - - お問い合わせください
電極サイズ: お問い合わせください お問い合わせください お問い合わせください お問い合わせください お問い合わせください お問い合わせください
ローディング:  お問い合わせください お問い合わせください お問い合わせください お問い合わせください お問い合わせください お問い合わせください
ロードロックウエハーサイズ: お問い合わせください お問い合わせください お問い合わせください お問い合わせください お問い合わせください お問い合わせください
MFCはgaslinesを制御: お問い合わせください お問い合わせください お問い合わせください お問い合わせください お問い合わせください お問い合わせください
ウエハーステージ温度範囲:  お問い合わせください お問い合わせください お問い合わせください お問い合わせください お問い合わせください お問い合わせください
             

 

物理学会の為、説明員が2人九州大学に行ったのですが、大盛況過ぎて弊社の事業部長の所に列はできてしまうし、もう一人は、お客様を裁く事でいっぱいとなり、写真が撮っている暇が無かったと連絡がありました。 嬉しい悲鳴です。今日は最終日、もしお時間がございましたら、覗いてみてください
11:06 午後 - 16 3 19
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