TMA及びO2プラズマを使用して、Al2O3のALDプロセスサイクル。.

ステップCだけがサーマルプロセス用のH2O あるいはO2 プラズマの間で変わります:
A. TMA chemisorbtion       B. TMA purge                  C. O2 plasma                   D. Short post plasma purge

物理学会の為、説明員が2人九州大学に行ったのですが、大盛況過ぎて弊社の事業部長の所に列はできてしまうし、もう一人は、お客様を裁く事でいっぱいとなり、写真が撮っている暇が無かったと連絡がありました。 嬉しい悲鳴です。今日は最終日、もしお時間がございましたら、覗いてみてください
11:06 午後 - 16 3 19
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