2016年までの2桁成長を遂げることが期待されるMEMS業界では、新しいMEMSアプリケーションの開発と実用化が現実のものとなりつつあります1。 

加速度計、ジャイロスコープ、マイクなどの伝統的なデバイスは、ディスプレイや車載アプリケーションなど、多くの消費者用電子機器で採用増加が見られます2。 
現実には、デバイスまたはセンサーの二つの小型化が求められる場合は、MEMSはその解決策を提供できます。研究の段階で新しいデバイスは、エネルギー・ハーベスティング、スピーカー、RFID、ピコプロジェクター、発振器、小型燃料電池、オートフォーカス技術、その他を含んでいます3。 

オックスフォード・インストゥルメンツのプラズマテクノロジーは、MEMS市場における既存および新興のアプリケーションに対応することができる技術を提供し続けています。幅広いプロセスとアプリケーション・ポートフォリオと当社の技術は、アプリケーションの多くは、今日のものと明日のものを識別することができます。

1. (アイサプライ社), 2. (A.M.フィッツジェラルドアンドアソシエイツ), 3. (Yoleディベロップメント)

MEMS市場部門に提供プロセス技術は、次のとおりです:
 

このアプリケーションのプロダクト

ALD装置 - OpAL(オープンロード型)

ALD装置 - OpAL(オープンロード型)

Open loaded thermal ALD tool with plasma option

ALD装置 - FlexAL(ロードロック型)

ALD装置 - FlexAL(ロードロック型)

Remote plasma & thermal ALD in one flexible tool

PVDシステム - PlasmaPro System400

PVDシステム - PlasmaPro System400

Magnetron sputtering process tool for Physical Vapour Deposition (PVD)

エッチング&デポジションツール - PlasmaPro NGP80

エッチング&デポジションツール - PlasmaPro NGP80

Compact open-loading tool for plasma etch and deposition