当社は、様々な構成が柔軟に設定可能なプロセスツールと共に、最先端のマイクロ構造やナノ構造において、正確で再現性のあるプロセスを提供しています。当社のシステムは、ナノメートルサイズ形状のエッチング、ナノレイヤーの成膜及び、ナノ構造に制御された成長プロセスソリューションを提供します。

これらのソリューションは、プラズマCVD及びエッチング、イオンビーム成膜及びエッチング、ALD、シリコン深堀エッチング及びPVDにおけるコア技術に基づいております。

当社製品は、研究開発用のコンパクトなスタンドアローンシステムから、バッチ式、カセット式クラスタープラットフォームまで、ハイスループットの生産処理に対応しています。

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アサイラム・リサーチのAFMが超高分解能の新基準を打ち立てました!AFMを溶液製膜法と組み合わせることにより、ポリマー構造の特性評価において、シンプルかつ超高分解能なアプローチを提供する事が可能に‼ 詳細は、”Nature”… https://t.co/Sv3gO79mpn
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