オックスフォード・インストゥルメンツは、生産性の向上、コスト削減や科学的進歩で、顧客システムへのプロセス改善を提供するよう努めています。継続的な製品開発の方針の結果として、例えば現状プロセスから別プロセスへの追加といった場合 、需要に応じて新しい機能を追加したシステムのアップグレードの範囲を提供しています。

詳細または上記のサービスのいずれかの引用については、お近くのオックスフォード・インストゥルメンツの販売と顧客サポートオフィスにてお問い合わせいただくか、メールでお問い合わせください:info.jp-ptg@oxinst.com

CCD 1分光計のアップグレード

CCD 1分光計のアップグレード

CCD1分光計システムの導入により、プラズマエッチング及びデポジションの性能範囲が改善されたエンド・ポインティングを提供しています。

コントロールシステム

コントロールシステム

さまざまな制御システムのアップグレードを提供しております。

ドライポンプN2 スタンバイモード

ドライポンプN2 スタンバイモード

N2スタンバイモードは、プラズマエッチング、デポジション、成長システムで使用されるエネルギーと窒素の節約することができます。

ガスポッドのアップグレード

ガスポッドのアップグレード

オックスフォード·インストゥルメンツのガスポッドは、ユーザーのニーズにより、別途ガスラインを組み込むことができます。

LN2 自動ユニット

LN2 自動ユニット

テーブルクーリング液を、再循環冷却装置を介して、自動的に液体窒素(LN2)と冷却液を切り替えることができます。

Maglev Turboのアップグレード

Maglev Turboのアップグレード

以前のポンプよりも優れた排気速度と高いスループットを提供します。

X20コントロールシステム

X20コントロールシステム

優れたスキャン速度や処理を行うコンパクトなシステムを提供します。

光学エンドポイント検出器

光学エンドポイント検出器

エンドポイント検出器は、最適な作業条件および結果を得るための重要なツールです。

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