特定の波長の光の量の測定は、特定の種​​の量の相対的な測定値を得ることができます。このタイプの測定は、チャンバーの表面およびチャンバー洗浄中に蒸着した材料との境界で、エンドポイントを決定するために使用されます。

デポジションツール用オプティカルエンドポイント検出器

  • Enables real-time chamber clean endpoint detection
  • Increases tool availability
  • Reduction in the cost of ownership (determines precisely when the clean process has ended)
  • Reduces possibility of chamber erosion from over cleaning, and assists in extending the life of the chamber
  • Reduces particulate generation by preventing over-clean, leading to improved process yield
  • リアルタイムチャンバー洗浄エンドポイント検出が可能
  • ツールの可用性を向上
  • 所有コストの低減(クリーンプロセスが終了したときに正確に決定)
  • クリーニングによりチャンバーの腐食の可能性を低減し、チャンバーの寿命を延長
  • オーバークリーンの防止と改良されたプロセスの歩留まりにより、微粒子の発生を低減
  Ocean Optics CCD1 Verity SD 1024G
検出範囲 200-850nm 200-800nm
ピクセル 3648 pixels 1024 x 128 pixels
信号VS雑音比 300:1 (at full signal) 2000:1 (at full signal)
A/D分解能 16 bit 16 bit
暗騒音 50 RMS counts 2 RMS counts
分解能 10nm 2nm

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