エンドポイント検出器は、最適な作業条件および結果を得るための重要なツールです。

  • 光学発光分光法(OES)は、プラズマにより生成された光の計測です。
  • プラズマの中の異なる種が、異なる特性の波長の光を発します。
  • エッチングツールのエンドポイント検出は、光学発光分光計またはレーザー干渉計のいずれかを利用しています。

エッチング用光学エンドポイント検出

最適なプロセス条件および結果を得る

光学発光分光法(OES)はプラズマにより生成された光の計測です。プラズマの異なる種が、異なる特性の波長の光を発します。

  • 特定の波長の光の量の測定は、特定の種​​の量の相対的な測定値を得ることができるます。このタイプの測定は、主に二つの層の間の境界で、エンドポイントを決定するために使用されます。エッチングツールのためのエンドポイント検出は、材料の層がエッチング除去されたときに使用できます。
  • レーザー干渉計では、マルチステップのエッチング工程において、エッチングまたは機能のために非常に重要です。精密エッチングの深さ制御を提供しています。
  • 干渉計は、試料上に向けられる外部光源に依存しています。反射光が検出され分析されます。この事実は、干渉を与えられたエッチング深さにエンドポイントに使用することができます。
  Ocean Optics CCD1 Verity SD 1024G
検出範囲 200-850nm 200-800nm
ピクセル 3648 pixels 2048 pixels
信号VS雑音費 300:1 (at full signal) 2000:1 (at full signal)
A/D分解能 16 bit 16 bit
暗騒音 50 RMS counts 2 RMS counts

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デポジション用光学エンドポイント検出

特定の波長の光の量の測定は、特定の種​​の量の相対的な測定値を得ることができます。このタイプの測定は、チャンバーの表面およびチャンバー洗浄中に蒸着した材料との境界で、エンドポイントを決定するために使用されます。

デポジションツール用オプティカルエンドポイント検出器

  • Enables real-time chamber clean endpoint detection
  • Increases tool availability
  • Reduction in the cost of ownership (determines precisely when the clean process has ended)
  • Reduces possibility of chamber erosion from over cleaning, and assists in extending the life of the chamber
  • Reduces particulate generation by preventing over-clean, leading to improved process yield
  • リアルタイムチャンバー洗浄エンドポイント検出が可能
  • ツールの可用性を向上
  • 所有コストの低減(クリーンプロセスが終了したときに正確に決定)
  • クリーニングによりチャンバーの腐食の可能性を低減し、チャンバーの寿命を延長
  • オーバークリーンの防止と改良されたプロセスの歩留まりにより、微粒子の発生を低減
  Ocean Optics CCD1 Verity SD 1024G
検出範囲 200-850nm 200-800nm
ピクセル 3648 pixels 1024 x 128 pixels
信号VS雑音比 300:1 (at full signal) 2000:1 (at full signal)
A/D分解能 16 bit 16 bit
暗騒音 50 RMS counts 2 RMS counts
分解能 10nm 2nm

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