Maglevアップグレードは、PlasmaPro NGP80とPlasmaPro System100ツールのユーザーに、以前のポンプよりも優れた排気速度と高いスループットを提供します。

磁気浮上型ターボポンプと現在の伝統的なベアリングターボポンプとの交換アップグレード。

主な特長

  • 高性能で非常に丈夫
  • ロードベアリングパーツが少ないためアップタイム増加
  • 過剰使用によるローターのあらゆる不均衡をリアルタイムで補正
  • ポンプ内の腐食またはビルドアップ蒸着を防止

磁気浮上式ターボ電力要件

機能と仕様 単位 ATP 400 ATH500MT
回転速度 rpm 27000 50000
入口フランジ   DN160 DN160
入口画面で排気速度 N2 l/s
He l/s
H2 l/s
400
300
250
500
340
190
圧縮比 N2
He
H2
7.0E-08
1.2E-04
1.0E-03
2.0E-07
1.0E-04
2.0E-02
最終圧力 mbar 8E-10 0.00000001
連続最大入口圧力のN2 mbar 0.02 0.02
最大連続排気圧のN2 mbar 0.2 1.7
最大スループットN2 sccm 450 500
スタートアップ時(最大) mn 3 <2.5
ポンプ重量 kg/lbs 9 (19.8) 18 (39)

(Maglevターボは、非Maglevターボとほぼ同じ消費電力量となります)

追加情報

お問合せ