ガスポッドアップグレード

オックスフォード·インストゥルメンツのガスポッドは、ユーザーのニーズにより、別途ガスラインを組み込むことができます。追加のラインは、ユーザー要望の変更に応じて追加することができます。

主な特長

  • 毒性と非毒性ガスを収容可能
  • オックスフォード・インストゥルメンツのすべてのPlasmaProシステムで使用可能(Ionfabツールアップグレードが適格性について個別に確認)
  • 最大12のガスラインに対応可能(ガスポッドの環境設定に依存)

ガスポッドアップグレードのベネフィット

  • インストールが迅速かつ簡単
  • 最新バージョンのマスフローコントローラー(MFC)をインストール可能
  • さらなる柔軟性により、各プロセスチャンバーに使用可能な別種のプロセスの範囲を拡大
  • 業界標準のMFCを実装

 

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