ドライポンプN2スタンバイモードは、オックスフォード・インストゥルメンツのプラズマテクノロジーの多くのシステムで提供することができます。

N2スタンバイモードは、プラズマエッチング、デポジション、成長システムで使用されるエネルギーと窒素の節約することができます。 これまでは、ドライポンプを搭載したシステムは、窒素パージを最大毎分35リットルまで継続的に使用する設定となっていましたが、チャンバーがプロセスガスを実行しているとき、またはこれらのレベルで実行するときだけ窒素が必要になるように仕様をアップグレードすることができます。

ベネフィット

オックスフォード・インストゥルメンツが新たに導入したドライポンプN2スタンバイモードは、システムの使用ガスを大幅に節約するように設計されています。

  • スタンバイモード時と使用時における窒素ガスの使用量を比べると96%節約
  • これまでのドライポンプを搭載したシステムは、窒素パージを最大毎分35リットルまで継続的に設定
  • プロセスで実行するときだけ窒素が必要
  • ドライポンプの窒素注入口は、入力ポンプの”アイドル状態””ポンプ中””スタンバイ”モードによる窒素量を減らすための制御が可能
  • ポンプベアリングのパージを継続

詳細については、以下までお問い合わせください。info.jp-ptg@oxinst.com

ドライポンプN2スタンバイセットアップ

ドライポンプN2スタンバイモードセットアップ

  • ポンプは、前に設定された期間の窒素のプリセットフローを実行するために、オックスフォード・インストゥルメンツのPC2000のシステムソフトウェアを介して設定することができ、その後、その実行によりプロセスが完了します。
  • N2スタンバイモードに戻る前、すべてのガスを安全に希釈、ポンピングすることができます。

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