アップグレード 説明
PC2000 LFA

プラズマシステムの通常の動作中に、PC2000™ソフトウェアによって自動的に作成されたログファイルで発生したデータを表示および分析するために使用ができます。PC2000とシステムのプログラマブルロジックコントローラ(PLC)の間を通過するすべてのデータは、LFAのログファイル内に格納され、その後グラフとして表示されます。利点は次のとおりです。高速データログ応答、すべてのパラメータと変数をリアルタイムに記録し、各パラメータは個々の応答時間で設定できます。

Windows 7へのアップグレード 最新のWindowsプラットフォームをサポートするソフトウェア(Windows XPは、マイクロソフトがサポートするソフトウェアでありません)​​。
SECS GEM

ホストPC(お客様にてご用意)からのデータ取得とレシピハンドリングシステム。私たちは、FAのためのSECS GEMホストインターフェイスに、SECS GEMに対応する互換ソフトウェアを提供できます。

RFホールド機能

プラズマ点火を維持しながら、プロセスガスの高速切り替えができます。 (ライセンス契約条件)

CM gauge auto-zero CMのゲージは各実行の一貫性あるプロセス圧力を達成するため、プロセスステップの実行前に、自動CMのゲージドリフト圧力補正を行うことができるようになります。
N2 スタンバイモード ドライポンプN2はスタンバイモードは、"スタンバイ"モードとエッチング、デポジション、成長システムのプロセス中とを比較した場合、最大の窒素ガスの使用量の96%を節約できます。
X20 PLC X20 PLCのアップグレードはB&Rミニコントローラを完全に置き換えるものです。アップグレードは、PCとともに最新のオペレーティングソフトウェアが提供され、使用できるようにプリロードされています。アナログ制御の高い分解能を提供しています。
Light tower Visual display of system operation, indication if tool is in process, idle or alarm mode.システム動作の視覚的表示、ツールがアイドル状態またはアラームモードプロセスにある場合の表示。
PC2000 プロセスツールユーザーインターフェースおよび制御ソフトウェア For systems currently operating on PC Plus software. PC2000 is the current Oxford Instruments operating software, providing a user interface that is clear, easy to use and quick to learn, whether the system is a straight forward open-loading tool or a complex multi-chamber cluster system.現在、PC Plusソフトウェア上で動作するシステムの場合。PC2000は、システムが単純明快オープンローディングツールまたは複雑なマルチチャンバークラスタシステムであっても、明確で使いやすく、学ぶため に迅速な現在のオックスフォード・インストゥルメンツのオペレーティングソフトウェアユーザーインターフェイスを提供しています。