CCD1分光計システムの導入により、プラズマエッチング及びデポジションの性能範囲が改善されたエンド・ポインティングを提供しています。

CCD1は、プロセスエンドポイントの検知及びUV/VISスペクトルキャプチャをともに提供することができ、すべての新しいツールの標準オプションとして、また既存のオックスフォード・インストゥルメンツの顧客のアップグレードオプションとして利用ができます。

ベネフィット

  • この分光計は、解像度や信号強度を損なうことなく、汎用用途のエンドポイント分光法への費用対効果の良い方法を提供
  • CCD1は、200nm-880nm波長以上という広範囲でプラズマ発光をモニターできるUV/VIS CCD分光計
  • このユニットは、OIPT's PC2000™ソフトウェアを介してプロセスのエンドポイント検出、または完全なスペクトルの表示と記録、これら2つの使い道を1つで使用可能
  • プラズマ内の各種濃度を監視するために使われ、詳細なプラズマ分光情報をユーザーに提供。 システムのモニタリング、不具合検出、潜在的な不具合分類のため、スペクトルを前のスペクトルデータと比較可能
  • 新しいオックスフォード・インストゥルメンツのエッチングとデポジション装置のシステムオプションとして利用可能になったCCD1分光計は、システムの年数、タイプ、設定に依存しながら、現有システムにアップグレードとして提供

 

 

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