ウエハーハンドリングオプション範囲:

  • シングルウエハーロードロック
  • カセットローディング
  • ロボットウエハートランスファーを介したカセット式クラスタ化
  • 柔軟なボリュームのスループット

ローディングの仕様:



ウエハーサイズ キャパシティ
50mm お問い合わせください
75mm お問い合わせください
100mm お問い合わせください
150mm お問い合わせください
200mm お問い合わせください