クラスタリング・ツールは、ステップ間の空気にウエハーが露出しないように、酸化とパーティクル汚染を避けることができます。それにより取り扱いダメージと搬送時間が減少し、歩留まりとスループットが向上します。

PlasmaPro System400 マグネトロンスパッタリングツールは、他のオックスフォード・インストゥルメンツのプロセスツールとクラスタ化することができます。

  • エッチングプロセス
  • デポジションプロセス