クラスタリング・ツールは、ステップ間の空気にウエハーが露出しないように、酸化とパーティクル汚染を避けることができます。それにより取り扱いダメージと搬送時間が減少し、歩留まりとスループットが向上します。

PlasmaPro System400 マグネトロンスパッタリングツールは、他のオックスフォード・インストゥルメンツのプロセスツールとクラスタ化することができます。

  • エッチングプロセス
  • デポジションプロセス
オックスフォードは、EDS分析システム「AZtecEnergy」、「INCAEnergy」、WDS分析システム「INCAWave」、EBSD分析システム「AZtecHKL」の計4種類の装置講習会を下記の内容にて開催いたします。2日… https://t.co/B6SWcPMELw
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