PlasmaPro System133のR&D能力

  • 4、8、12ラインガスポッドのオプションは、プロセスおよびプロセスガスの柔軟性を提供し、メインプロセスツールから離れた、サービスエリアでリモートで選定することができます。
  • フルウエハートラッキングと、必要に応じた個々のウエハープロセス制御によるカセット・トゥ・カセットハンドリング
  • ウエハー裏面冷却を用いた電子チャックおよび/または機械的クランプオプション
  • MESC互換性がある六角形または正方形のロボットハンドラ