PlasmaPro System133の生産ユーザー用能力

  • ロードロックウエハーエントリーを介した単一のウエハー/バッチまたはカセットローディングのオプション
  • 中央ロボットウエハーハンドラや生産プロセスのフルカセット・トゥ・カセットのウエハーハンドリングでクラスタシステムに統合することができます。
  • レーザー干渉法および/または発光分光法によるエンドポイント検出を、エッチングの制御を強化するためにPlasmaPro System133に取り付けることができます。