PlasmaPro System133の生産ユーザー用能力

  • ロードロックウエハーエントリーを介した単一のウエハー/バッチまたはカセットローディングのオプション
  • 中央ロボットウエハーハンドラや生産プロセスのフルカセット・トゥ・カセットのウエハーハンドリングでクラスタシステムに統合することができます。
  • レーザー干渉法および/または発光分光法によるエンドポイント検出を、エッチングの制御を強化するためにPlasmaPro System133に取り付けることができます。
#顕微鏡学会 弊社のランチョンセミナー大盛況でした。 参加して下さった皆様ありがとうございました。 そして、弊社はより良い製品を皆様に届ける事が出来るよう日々研鑽してまいります。 pic.twitter.com/VKk1wf1Llz
5:39 午前 - 29 5 18
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