PlasmaPro System133の生産ユーザー用能力

  • ロードロックウエハーエントリーを介した単一のウエハー/バッチまたはカセットローディングのオプション
  • 中央ロボットウエハーハンドラや生産プロセスのフルカセット・トゥ・カセットのウエハーハンドリングでクラスタシステムに統合することができます。
  • レーザー干渉法および/または発光分光法によるエンドポイント検出を、エッチングの制御を強化するためにPlasmaPro System133に取り付けることができます。
オックスフォードは、EDS分析システム「AZtecEnergy」、「INCAEnergy」、WDS分析システム「INCAWave」、EBSD分析システム「AZtecHKL」の計4種類の装置講習会を下記の内容にて開催いたします。2日… https://t.co/B6SWcPMELw
10:46 午後 - 26 3 18
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