プロセス

300mmおよび大規模バッチアプリケーションのプロセスのパフォーマンスデータシートの詳細についてはお問い合わせください。

  • HBLEDs:業界をリードするバッチ生産性能:GaN、AlGaNおよび関連材料、サファイア、SiC基板のエッチング
  • ダイヤモンドライクカーボン(DLC)デポジションとエッチング
  • 300mmのSiO2, SiNxの蒸着

柔軟な構成が可能に