プロセスツールソフトウェア

PlasmaPro NGP80は、試されてきたソフトウェアに基づいて、新規および改良されたユーザーインターフェイスを備えています。オックスフォード・インストゥルメンツのソフトウェアは、工場のマネジャーやサービススタッフの全機能を保持しながら、プロセスオペレータを迅速に訓練でき、その明快さと使いやすさで知られています。

  • プロセスツールを制御し、監視するフロントエンドビジュアルインターフェイスは、顧客のシステムに正確に設定されます。
  • プロセスレシピは、ライブラリを構築し、同じソフトウェアを使用して、書き込み、格納、呼び出しされます。
  • パスワード制御されたユーザーログインは、"ワンボタン"実行操作から完全なシステム機能へのユーザアクセスとタスクをさまざまなレベルで行えます。
  • 継続的なシステムデータロギング(<500msの)は、各ウエハーおよびプロセス実行の効果的なトレーサビリティを保証します。
  • 完全GEM / SECS互換