マルチ・プロセス・テクノロジーを提供するプラズマエッチングおよび蒸着のためのコンパクトなオープンロードツール

PlasmaProNGP80は、便利なオープンロードを用いたあるプラットフォームで汎用性の高いプラズマエッチングと蒸着ソリューションを提供しています。小さな足跡システムは、プロセスの品質に妥協することなく、設定しやすく簡単に使えます。

これは研究開発または小規模生産に向いており、最小のウエハー片から200mmウエハーへ処理することができます。オープンロードデザインは、高速ウエハーのロードおよびアンロード、理想的な研究、試作、少量生産ができます。

プロセス技術の構成オプション:

  • PlasmaPro NGP80 RIE
  • PlasmaPro NGP80 PECVD
  • PlasmaPro NGP80 RIE/PE
  • PlasmaPro NGP80 ICP/ICP-CVD

システムの利点

高性能プロセス

  • PlasmaPro NGP80は、優れたプロセス制御、ウエハー温度の均一性と柔軟性、さまざまなプロセスのカバーを、電極冷却結果で最適化されています。
  • 強化されたプロセスの均一性と率は、高コンダクタンス放射(軸対称)ポンプ設定を使用することによって保証されています。
  • <500msのデータロギングの追加は、チャンバーとプロセス条件のトレーサビリティや履歴を提供しています。
  • 密結合ターボポンプは、高い排気速度と優れたベース圧力を提供しています。
  • アクセスがしやすい保守やメンテナンスなどの重要なコンポーネント
  • X20の制御システムは、大幅にデータの取得が増加し、より速く、より再現性のあるマッチングを実現
  • 強化された新しいユーザーインターフェース
  • 迅速な故障診断を可能にするフロントエンド・ソフトウェアを介した障害と診断ツール
  • 自動パージは、ラインフラッシュの間に、順番に有毒ガスラインのパージが可能 - より安全なので、フロントエンドソフトウェアで完全に連動してパージを制御
  • Semi S2/S8 適合

ソフトウェア

プロセスツールソフトウェア

PlasmaPro NGP80は、試されてきたソフトウェアに基づいて、新規および改良されたユーザーインターフェイスを備えています。オックスフォード・インストゥルメンツのソフトウェアは、工場のマネジャーやサービススタッフの全機能を保持しながら、プロセスオペレータを迅速に訓練でき、その明快さと使いやすさで知られています。

  • プロセスツールを制御し、監視するフロントエンドビジュアルインターフェイスは、顧客のシステムに正確に設定されます。
  • プロセスレシピは、ライブラリを構築し、同じソフトウェアを使用して、書き込み、格納、呼び出しされます。
  • パスワード制御されたユーザーログインは、"ワンボタン"実行操作から完全なシステム機能へのユーザアクセスとタスクをさまざまなレベルで行えます。
  • 継続的なシステムデータロギング(<500msの)は、各ウエハーおよびプロセス実行の効果的なトレーサビリティを保証します。
  • 完全GEM / SECS互換

コントロールシステム

プロセスコントロール – エッチングエンドポインティング検出

優れたエッチング制御とレート判定は、PC4500TMのプロセスツールソフトウェアと結合し、任意のエンドポイント検出によって提供することができる。

  • レーザーエンドポイント検出は、層の境界を決定するために(例えば、Si基板上への酸化物)反射面上の透明な材料のエッチング深さを測定する干渉計を使用しているか、非透過材料の反射率測定(金属など)を行っています。
  • 大規模なサンプルやバッチ処理のための光学発光分光法(OES)は、反応性ガス種や枯渇副産物エッチのエンドポインティングによる変化を検出することによって、チャンバーは清潔なエンドポインティングになります。

ガス制御システム

  • PlasmaPro NGP80システムは、ガスライン用モジュラーアップグレード・パスの柔軟性を最大限にすることができ、リモートガスラインバイパス機能は、幅広い機能と使いやすさを提供します。

所有コスト

所有と顧客サポートコスト


私たちは、特定の要件を満たすのに適切なシステム、プロセス、サポート・パッケージを作り出すために顧客と仕事をしており、サービ・レベル・アグリーメント(SLA)の範囲をあなたのニーズに合わせております。

  • サポートエンジニアの訪問やテクニカルホットラインコールのための保証された応答時間
  • 最大24時間365日サポート範囲の選択
  • スケジュールされた予防保守コール
  • マネージドスペアインベントリオプションは、世界中の部品の位置を介して、顧客専用のストックを持ちます。
  • 優遇スペアパーツの価格
  • プロセストレーニング
  • 予防保守で顧客自身のエンジニアのための認定メンテナンスのトレーニングコース、最初のレベルのトラブルシューティング