製品の特長

  • エッチングとデポジションツールであるPlasmaPro HBLEDは、HBLEDメーカー向けの優れた利点を提供
  • 業界をリードするウエハーサイズ(batch)から、優れたスループットを与える大型電極サイズ
  • 高品質のデバイス性能と歩留まり
  • 優れた稼働時間の信頼性の高いハードウェアと保守のしやすさ
  • 低ランニングコスト
  • バッチ生産用に最適化されたNGP1000は、オープンロードおよびクラスタ機能オプションとともに、標準として真空ロードロック搭載
  • クリーニングのオーバーヘッドを最小限するシステム設計