PlasmaPro NGP1000エッチングシステム。GaN、AlGaInP、サファイアのエッチングのために設計。

  • 化合物半導体プロセスの20年以上の経験を基に、最適化されたエッチングプロセスは、すべてエッチングアプリケーションのための優れたバッチ処理のスループットを提供します。
  • クロス・バッチ均一性(<+/-5%の歩留まり)を備えた、各種バッチサイズ対応