PlasmaPro Estrelas100の優れた技術力

  • 50mmから200mmのウエハーサイズに対応
  • 柔軟な設定による、同一チャンバーハードウェアを使用して生産ができる開発装置の性能を提供
  • クライオ用メカニカルクランプと静電チャックオプション
  • 150℃まで加熱可能なチャンバーライナー
  • ”初期ウエハー効果”を排除し、プラズマの安定性を向上
  • ポリマー生成を減らし、機械的な洗浄の間の平均ウエハーを増加
  • 即効閉鎖型結合MFCsは、原子層堆積用にオリジナルに設計されたソフトウェアがにて制御
  • チャンバー容積が減少され、高いガスコンダクタンスと短いステップ時間によるを確保
  • 最適化されたハードウェア及びプロセス制御を通じて低ランニングコストが可能