PlasmaPro 100は、プラズマエッチングやデポジションプロセスのための柔軟かつ強力なソリューションです。

オックスフォード・インストゥルメンツのPlasmaPro 100プロセスモジュールは、単一のウエハーおよびマルチウエハーのバッチ機能において、200mmのプラットフォーム上で構築されています。プロセスモジュールは、アプリケーションの範囲で優れた均一性と高スループットのプロセスを提供します。

  • PlasmaPro 100のR&Dシステム範囲は、MEMS、オプトエレクトロニクス、 フォトニクス、故障解析太陽光発電を含む、理想的に多くの市場に適している。
  • 6,000以上のプロセスレシピを持つ専用ライブラリ
  • グローバル・カスタマー・サポート・ネットワーク
  • ロードロックウエハーエントリーは、高速ウエハー交換、プロセスガスの最大範囲および拡張プロセス温度範囲を可能にします。