PlasmaPro 100ツールは、さまざまなアプリケーションで優れた均一性と高スループットを提供し、最大200mm単一ウエハーの生産能力があります。

PlasmaPro 100の範囲は、理想的には、MEMS、HBLED、半導体エレクトロニクス、故障解析など、多くの市場に適しています。

主な特長:
  • 基板温度の制御は、-150℃〜700℃のの温度範囲で、さまざまな電極で提供
  • 小200mmウエハーのハンドリングも、小型ウエハー(バッチ)、プレ、パイロット生産能力
  • ロードロックウエハーエントリを介して単一のウエハー搬入
  • 原位置チャンバークリーニング