Nanofab800Agileプロセスツールの機能

ナノ構造成長に影響を与えるために、追加の磁場や電場の組み込みを行っています。

  • 最大800℃までの温度域によるナノチューブやナノワイヤの制御成長
  • 迅速なターンアラウンドのための素早い加熱と冷却
  • PECVD 及び高温成膜
  • 高温電極