Nanofab800Agile高温電極の特長

  • 最大800℃までの高温機能
  • 速いサイクルタイム:ランプ·レートは最大130℃/分
  • 熱均一性(<±1%)
  • 長寿命耐衝撃性材料
  • 再生可能なサセプター
  • 独立した下部電極の接地
  • メンテナンスのしやすいシンプルデザイン