Nanofab700プロセスツールの機能

  • 最大700℃までの温度域によるナノチューブやナノワイヤの制御成長
  • 液体プリカーサオプション
  • チャンバークリーニング能力と触媒プラズマ前処理
  • PECVD 及び高温成膜
  • ロードロック機構
  • 酸素を含むプロセスガスの広範囲な互換性
オックスフォードは、EDS分析システム「AZtecEnergy」、「INCAEnergy」、WDS分析システム「INCAWave」、EBSD分析システム「AZtecHKL」の計4種類の装置講習会を下記の内容にて開催いたします。2日… https://t.co/B6SWcPMELw
10:46 午後 - 26 3 18
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