Nanofab700プロセスツールの機能

  • 最大700℃までの温度域によるナノチューブやナノワイヤの制御成長
  • 液体プリカーサオプション
  • チャンバークリーニング能力と触媒プラズマ前処理
  • PECVD 及び高温成膜
  • ロードロック機構
  • 酸素を含むプロセスガスの広範囲な互換性