単一ツールの柔軟性

  • 任意形状をクランプする機構及びユニークデザインのキャリアプレート
  • ウエハハンドリングオプション
  • ロードロック機構
  • バッチ生産のためのカセットtoカセットの搬送可能
  • オックスフォード・インストゥルメンツのPlasmaProプラズマエッチング、デポジションやスパッタリングツール、及びFlexAL原子層堆積(ALD)ツールを含む他のプロセスツールとクラスタリング可能
  • エッチングとデポジションのソースを追加するためのシンプルなアップグレード・オプション