Optofab3000イオンソース

  • リーディングイオンソース及びグリッド技術
  • グリッドは、特定のアプリケーションに合わせて設計されています:均一性、高レート、低エネルギー
  • 特定成膜グリッドは、複数のターゲットに合​​わせて設定し、ターゲット材料の優れた利用を提供します。
  • エッチングソースオプション
  • デュアルビーム構成(エッチングプラス蒸着源)が大気中にプロセスチャンバーまたはウエハーを外気に曝さずに、エッチング後にキャップ層を追加する可能性を提供します。
  • プラズマラジカルソースとしてエッチングソースを使用することにより増加した成膜速度(IASD)
#顕微鏡学会 弊社のランチョンセミナー大盛況でした。 参加して下さった皆様ありがとうございました。 そして、弊社はより良い製品を皆様に届ける事が出来るよう日々研鑽してまいります。 pic.twitter.com/VKk1wf1Llz
5:39 午前 - 29 5 18
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