Ionfab500Plusイオンビーム蒸着システムは、高スループットを要件とする顧客の要求のために開発されました。

  • 複数基板と大型ターゲットが使用できます。
  • 高いスループットを必要とするお客様への重要な利点は、異なる材料層が真空を破らずに成膜でき、複数ターゲットを使用できることです。