単一ツールの柔軟性

  • 任意形状をクランプし、独自のキャリアプレートを設計
  • ウエハーハンドリングオプション
  • ロードロック機構
  • バッチ生産のためのカセット式ローディング
  • オックスフォード・インストゥルメンツのプラズマエッチング、デポジションやスパッタリングツール及びFlexAL原子層堆積(ALD)ツールなどの他のプロセスツールとクラスター化が可能
  • アップグレード・オプションは、エッチング及びデポジションを追加