単一ツールの柔軟性

  • 任意形状をクランプし、独自のキャリアプレートを設計
  • ウエハーハンドリングオプション
  • ロードロック機構
  • バッチ生産のためのカセット式ローディング
  • オックスフォード・インストゥルメンツのプラズマエッチング、デポジションやスパッタリングツール及びFlexAL原子層堆積(ALD)ツールなどの他のプロセスツールとクラスター化が可能
  • アップグレード・オプションは、エッチング及びデポジションを追加
オックスフォードは、EDS分析システム「AZtecEnergy」、「INCAEnergy」、WDS分析システム「INCAWave」、EBSD分析システム「AZtecHKL」の計4種類の装置講習会を下記の内容にて開催いたします。2日… https://t.co/B6SWcPMELw
10:46 午後 - 26 3 18
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