イオンビームレンジには複数のモードでの機能があります。

  • イオンビームエッチング(IBE)
  • リアクティブイオンビームエッチング(RIBE)
  • リアクティブイオンビームデポジション(RIBD)
  • ケミカルアシストイオンビームエッチング(CAIBE)
  • イオンビームスパッタデポジション(IBSD)
  • イオンアシストスパッタデポジション(IASD)