代表的なアプリケーション

  • IRディテクター
  • CdHgTe(CMT)のエッチング
  • VOXの成膜及びエッチング
  • メタルコンタクト、トラックエッチング
  • 回折格子
  • SiO2の"ブレーズ"エッチング
  • スピントロニクスとMRAM
  • レーザーバーのAR及びHRコーティング
  • テレコムフィルター
  • III-Vフォトニクスエッチング
  • 薄膜磁気ハードディスクヘッド(TFMH)