OpALシステムの利点:

  • Vapor draw方式、又はバブリング方式によるプリカーサ供給(液体/ソリッド体プリカーサ共に使用可能)
  • サンプルエントリロードロックを有した窒素パージ機構付きグローブボックス(オプション)を取り付けることができます。
  • チャンバークリーニング向けに内部防着チャンバーライナーを有しております。
  • ALD制御ソフトウェアにリンクするIn-Situ分光エリプソメトリーを含む分析オプション

安全機能:

  • プリカーサキャビネットは、健康と安全コンプライアンスのために窒素パージ機構を有し、2次排気ラインへの接続が可能です。
  • 空気圧の巻き上げによる、安全な開口チャンバー
  • 健康と安全、コンプライアンスのために窒素パージしたグローブボックス(オプション)を取り付けることができます。

直感的なソフトウェア

  • 当社の信頼できるPlasmaPro製品ファミリーなどと同じソフトウェアプラットフォームの、OpALレシピドリブン、マルチユーザーレベルを活かしたPC2000TM制御ソフトウェアは使いやすく、かつ迅速なサイクルALD法に合わせて調整されます。

プロセスの保証

当社のお客様のベネフィットは、プロセス保証です。制御、反復可能なプロセスは、現場でのプロセスの受け入れと支援に支えられ、当社のアプリケーション研究室で開発されました。

  • 最大200mmウエハーと優れた均一性 
  • 高アスペクト比構造に優れたステップカバレッジを提供