FlexALシステムの利点:

  • 小さなウエハー片から最大200mmウエハーまでの処理能力
  • 低粒子計数とロード・トゥ・プロセススタート短時間用のロードロックウエハーエントリー
  • プリカーサ切替用の統合グローブボックス付き
  • In-situエリプソメトリー測定ツールの追加オプション
  • オックスフォード・インストゥルメンツのPlasmapro100の範囲を含む、他のプロセスツールを使用して、クラスタシステムに統合が可能
  • ASMインターナショナルNVから技術ライセンスを取得

主な特長

  • リモートプラズマ&フレキシブルツールによるサーマルALD
  • プロセス柔軟性のために自動化された200mmロードロック
  • 基板の真空トランスファー用のクラスタ対応
  • カセットハンドリングによる生産に適したスループット増大
  • 搬送ロボットと25枚ウエハーカセット付き六角ハンドラーオプション(対応サイズ:100mm、150mm、200mmウエハー)
  • すべての構成は、クリーンルーム内またはスルー・ザ・ウォールに配置することができます