FlexAL ALD System

リモートプラズマ&サーマルALD

 FlexAL® システムは、単一のALDシステム内のリモートプラズマ原子層堆積(ALD)プロセスとサーマルALDを提供することにより、ナノスケールの構造および装置のエンジニアリングにおける、新しい範囲での柔軟性と機能を提供します。

FlexALシステムのベネフィット:

  • 材料とプリカーサを選択する際に最大限の柔軟性
  • プラズマALDによる有効な低温プロセスが可能
  • リモートプラズマの使用により低ダメージを維持
  • レシピ駆動型のソフトウェア・インターフェースを介して制御可能、反復可能なプロセス
  • R&Dと生産環境の両方に設定することが可能

システムの機能と利点

FlexALシステムの利点:

  • 小さなウエハー片から最大200mmウエハーまでの処理能力
  • 低粒子計数とロード・トゥ・プロセススタート短時間用のロードロックウエハーエントリー
  • プリカーサ切替用の統合グローブボックス付き
  • In-situエリプソメトリー測定ツールの追加オプション
  • オックスフォード・インストゥルメンツのPlasmapro100の範囲を含む、他のプロセスツールを使用して、クラスタシステムに統合が可能
  • ASMインターナショナルNVから技術ライセンスを取得

主な特長

  • リモートプラズマ&フレキシブルツールによるサーマルALD
  • プロセス柔軟性のために自動化された200mmロードロック
  • 基板の真空トランスファー用のクラスタ対応
  • カセットハンドリングによる生産に適したスループット増大
  • 搬送ロボットと25枚ウエハーカセット付き六角ハンドラーオプション(対応サイズ:100mm、150mm、200mmウエハー)
  • すべての構成は、クリーンルーム内またはスルー・ザ・ウォールに配置することができます

FlexAL Image Gallery

FlexAL

FlexAL

FlexAL Operator Loading Wafer

FlexAL Operator Loading Wafer

FlexAL

FlexAL