Reactive Ion Etch (RIE) for Failure Analysis

Process Specification

  Polyimide Depassivation  (SiNx) SiOx (BPSG; TEOS)
  PlasmaPro FA200 (NGP80) PlasmaPro FA300 (800Plus) PlasmaPro FA200 (NGP80) PlasmaPro FA300 (800Plus) PlasmaPro FA200 (NGP80) PlasmaPro FA300 (800Plus)
Mode お問い合わせ下さい お問い合わせ下さい お問い合わせ下さい お問い合わせ下さい お問い合わせ下さい お問い合わせ下さい
Etch Rate (Å/min) お問い合わせ下さい お問い合わせ下さい お問い合わせ下さい お問い合わせ下さい お問い合わせ下さい お問い合わせ下さい
Selectivity お問い合わせ下さい お問い合わせ下さい お問い合わせ下さい お問い合わせ下さい お問い合わせ下さい お問い合わせ下さい
Uniformity お問い合わせ下さい お問い合わせ下さい お問い合わせ下さい お問い合わせ下さい お問い合わせ下さい お問い合わせ下さい

 

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