Failure Analysis Applications

  • Isotropic polyimide removal (RIE or ICP mode)
  • Isotropic Nitride (passivation) removal (PE or ICP mode)
  • Anisotropic Oxide (IMD/ILD) removal (RIE or ICP mode)
  • Anisotropic Low-K Oxide removal (RIE or ICP mode)
  • Metal skeleton removal (RIE or ICP mode)
  • Poly-Si removal (RIE mode)
  • Al and Cu removal (ICP mode)
  • Backside Bulk Si removal (ICP mode)
オックスフォードは、EDS分析システム「AZtecEnergy」、「INCAEnergy」、WDS分析システム「INCAWave」、EBSD分析システム「AZtecHKL」の計4種類の装置講習会を下記の内容にて開催いたします。2日… https://t.co/B6SWcPMELw
10:46 午後 - 26 3 18
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