Bosch Deep Silicon Etching (DSE)

  • High rate, high selectivity deep silicon etch process using alternating deposition and etch steps
  • Applicable to silicon, silicon-on-insulator (SOI) and silicon on glass

SEM image shows micro-machined SOI gyroscope fabricated using deep silicon etching

 

 

Process specification

  PlasmaPro NGP80 ICP65 PlasmaPro 100 ICP180 PlasmaPro 100 ICP380 PlasmaPro 100 Cobra PlasmaProEstrelas100
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Uniformity: お問い合わせ下さい お問い合わせ下さい お問い合わせ下さい お問い合わせ下さい お問い合わせ下さい
Type of etch:   お問い合わせ下さい お問い合わせ下さい お問い合わせ下さい お問い合わせ下さい お問い合わせ下さい
Aspect ratio: お問い合わせ下さい お問い合わせ下さい お問い合わせ下さい お問い合わせ下さい お問い合わせ下さい
Selectivity to PR: お問い合わせ下さい お問い合わせ下さい お問い合わせ下さい お問い合わせ下さい お問い合わせ下さい
Wafer size: お問い合わせ下さい お問い合わせ下さい お問い合わせ下さい お問い合わせ下さい お問い合わせ下さい