Hot embossing is an easy method for the reproduction of microstructures. Under vacuum, a moulding tool is pressed into a heated thermoplastic polymer (PMMA for instance).  For subsequent electroforming of metallic structures, the residual polymer layer that inevitably remains between substrate and molding tool has to be removed. The PlasmaProRIE is a highly suitable tool for such residual removal. An oxygen plasma is used.

Height of PMMA structure: お問い合わせ下さい
Thickness of removed residual layer: お問い合わせ下さい
Narrowest trenches: お問い合わせ下さい
Thinnest PMMA walls: お問い合わせ下さい
Vertical etch rate: お問い合わせ下さい
Horizontal etch rate: お問い合わせ下さい


#顕微鏡学会 弊社のランチョンセミナー大盛況でした。 参加して下さった皆様ありがとうございました。 そして、弊社はより良い製品を皆様に届ける事が出来るよう日々研鑽してまいります。
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