Polydimethylsiloxane (PDMS) Etching

PDMS may be dry etched using the Inductively Coupled Plasma (ICP) process technique.

SEM image shows PDMS etch Depth 90µm & profile 92° 
 

  PlasmaPro NGP80 ICP65 PlasmaPro100 ICP180 PlasmaPro100 ICP380
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