Lead Zirconium Titanate (PZT) Etching

PZT has applications in Ferroelectric RAM, actuators, ultrasonic motors and IR detectors. It may be dry etched using the following process types:

SEM image shows anisotropic RIE etch of 1 µm PZT (PR mask removed)

Lead Zirconium Titanate (PZT) ICP Etch

Inductively Coupled Plasma Reactive Ion Etch of PZT

  ICP65 (NGP80 or PlasmaPro100) PlasmaPro100 ICP180 PlasmaPro100 ICP380
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Lead Zirconium Titanate (PZT) RIE

Reactive Ion Etch of PZT

  PlasmaPro NGP80RIE PlasmaPro 100RIE PlasmaPro 133RIE PlasmaPro 800RIE
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