Lead Selenide (PbSe) Etching

PbSe and related films may be dry etched smoothly in a chlorine free process using ICP etch processchambers.

SEM image shows 1µm PbSe etch

 

 

 

 

 

Process specification:

  PlasmaPro100 ICP180 PlasmaPro100 ICP380
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Uniformity: お問い合わせ下さい お問い合わせ下さい
Selectivity to PR: お問い合わせ下さい お問い合わせ下さい
Wafer size: お問い合わせ下さい お問い合わせ下さい