Indium Tin Oxide (ITO) Etching

ITO is a well known Transparent Conductive Oxide (TCO). It may be dry etched using the following process types:

SEM image shows 100nm deep ITO ICP etch

ITO using ICP Etch

ICP Etch of ITO

  ICP65 (NGP80 or PlasmaPro100) PlasmaPro100 ICP180 PlasmaPro100 ICP380
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ITO using RIE

RIE Etch of ITO

  PlasmaPro NGP80RIE PlasmaPro 100RIE
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