Indium Tin Oxide (ITO) Etching

ITO is a well known Transparent Conductive Oxide (TCO). It may be dry etched using the following process types:

SEM image shows 100nm deep ITO ICP etch

ITO using ICP Etch

ICP Etch of ITO

  ICP65 (NGP80 or PlasmaPro100) PlasmaPro100 ICP180 PlasmaPro100 ICP380
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ITO using RIE

RIE Etch of ITO

  PlasmaPro NGP80RIE PlasmaPro 100RIE
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#顕微鏡学会 弊社のランチョンセミナー大盛況でした。 参加して下さった皆様ありがとうございました。 そして、弊社はより良い製品を皆様に届ける事が出来るよう日々研鑽してまいります。 pic.twitter.com/VKk1wf1Llz
5:39 午前 - 29 5 18
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